| 類別 | 內容 |
|---|---|
| 設備節拍（上片或下片） | 425pcs/h |
| 產品良率 | ≥99.9% |
| 設備精度 | 晶圓片上下片重復定位精度 可達到±0.05mm,±0.1度以內 |
| MO倒片機尺寸 | L4.5m*W2.6m*H2.4m |
| 周轉單元尺寸 | L2.7m*W1.85m*H2.4m |
| AGV尺寸 | 根據具體功能定制 |
| 電子貨架尺寸 | 根據具體功能定制 |
全(quan)自動：AGV運載石墨盤根(gen)據調度系統(tong)指(zhi)令(ling)自動在電子貨架(jia)、MO倒片機，周(zhou)轉單元對接；
電子(zi)貨架(jia)存儲石(shi)(shi)墨(mo)盤且與中控系統實(shi)時通訊監控石(shi)(shi)墨(mo)盤狀(zhuang)態；
MO倒片機(ji)實現自(zi)動(dong)(dong)上下(xia)石墨盤(pan)，Pocket自(zi)動(dong)(dong)清潔，晶圓(yuan)mapping、晶圓(yuan)尋邊(bian)、Wafer ID讀取、自(zi)動(dong)(dong)上片、可反流程實現自(zi)動(dong)(dong)下(xia)片，Wafer ID與(yu)盤(pan)SN綁(bang)定LINK后上傳至MES；
周轉(zhuan)單元與MO設備無縫對接，實現自動上下石墨盤，收集MO腔體狀態(tai)信息于(yu)中控系(xi)統通訊；
高配置：CCD自(zi)動檢測、著名品牌工業機器(qi)人、全(quan)過程伺服控制(zhi)系統、全(quan)過程智能檢測以及智能化操作(zuo)系統等
人(ren)性化：成熟先進的自動(dong)控制(zhi)技術，增(zeng)加智(zhi)能監控，智(zhi)能語音提醒，既滿足工(gong)業生(sheng)產也兼顧(gu)人(ren)因工(gong)程
